特許

J-GLOBAL ID：200903005487184923

ハイブリッド駆動装置を備えたマイクロメカニカルなリレー

発明者： ゲファッター, ハンス-ユルゲン ,  キーゼヴェッター, ロタール ,  シムカト, ヨアヒム ,  シュラーク, ヘルムート
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-518543
公開番号（公開出願番号）：特表平8-506690
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】マイクロメカニカルなリレーは、可動子基板(52)からエッチングされた舌片状の可動子(53)を有している。この可動子は、弾性的に可動子基板に結合されており、下方に位置するベース基板(51)のベース電極(58)と一緒に静電駆動装置を形成している。さらに、この可動子(53)には圧電層(60)が設けられている。この圧電層は撓みトランスデューサとして働き、付加的な駆動装置を形成している。可動子(53)、ベース基板(51)および圧電層(60)の電極に電圧が印加されると、可動子はベース基板に引付けられ、次いで、ベースに大きな面にわたって載置され、これにより少なくとも1つのコンタクトが(55,56)が閉じる。この場合、静電駆動装置および圧電駆動装置の異なる特性が重畳されるので、可動子運動開始時に強い引付け力が生ぜしめられると共に、可動子引付け後にも強いコンタクトカが生ぜしめられる。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカルなリレーであって、面状のベース電極(58)と、少なくとも1つの固定の対応コンタクト片(56)とを支持するベース基板(51)が設けられており、さらに少なくとも1つの可動子(53)が設けられており、該可動子が、舌片の形で一方の側で支持体(52)に弾性的に結合されており、ベース電極(58)に対向して位置する可動子電極(57)ならびに対応コンタクト片(56)に対向して位置する可動子コンタクト片(55)を有していて、可動子電極(23,57)とベース電極(11;58)との間に電圧が印加された時に、可動子がベース基板に引付けられるようになっている形式のものにおいて、 可動子(53)が少なくとも部分的に、撓みトランスデューサとして作用する圧電層(60)を備えており、該圧電層の撓み力が励起時に、ベース電極と可動子電極相互間の静電引付け力を助成するようになっていることを特徴とする、マイクロメカニカルなリレー。

IPC (2件)：

H01H 59/00 ,  H01H 57/00