特許

J-GLOBAL ID：200903005489285700

光検出用反射式フィードバックプローブ装置

発明者： ロバート エリック ベツィク ,  イガル エム.ブレナー ,  ステファン グレゴリ グラブ ,  デビッド アンドリュー バークレイ ミラー
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196306
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174770
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 高解像度と高い信号対ノイズ比(SN比)を実現できる光学顕微鏡用光ファイバを提供する。【構成】 サンプルの表面から情報を収集するための、近傍走査型光顕微鏡である。光学的空洞を有する光源がサンプル表面と反射的に結合される。検出位置のサンプル表面の特性の変化により、光源の光学的フィードバックが変わる。これにより、光源の出力特性を検知しうる変化が生じる。

請求項（抜粋）：

a)第1の光学的空洞を有し、その第1の光学的空洞から放射先端部分(110)を介して放射光を放出する光源(107,115)と、b)前記光学的空洞がサンプル(記録媒体)の表面上のスポットと反射結合されるように、前記放射先端部分を、前記放射光の波長であるλ以上離れてサンプル表面の近傍に配設する手段と、c)前記サンプル表面上の前記スポットを走査する手段と、d)前記光源の出力特性の変化を検出する手段(125)と、を有するサンプルの表面から情報を収集する装置において、e)前記放射先端部分は、サンプル表面に平行な少なくとも一つの次元において前記λ以下の最大長さLを有し、f)前記配設手段は、前記放射先端部分を、サンプル表面から約L以下の距離に配設することを特徴とする光検出用反射式フィードバックプローブ装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 102

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭59-121310
  
• 特開平4-291310
  
• 特開平4-136743