高抵抗透明導電膜の安定化方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東海裕作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266178
公開番号（公開出願番号）：特開平8-109046
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】透明ガラス基板上に、屈折率1.7〜2.2、膜厚10〜30nmの透明導電膜を成膜したガラスの加熱によるシート抵抗値変化を抑制し、かつ通電耐湿試験でのリニアリティ値が2%以上に増大しない安定化した透明導電膜を作成する方法を提供する。【構成】透明ガラス基板上の透明導電膜の上に、二酸化珪素膜を2〜100nmオーバーコートすることを特徴とする透明導電膜の安定化方法。

請求項（抜粋）：