特許
J-GLOBAL ID：200903005495200814
ウェーハの洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157169
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000625
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 小型でかつ生産性が高いウェーハの洗浄装置を提供する。【解決手段】 この洗浄装置の主な構成は、ウェーハ1の両面を挟持するとともに、互いに逆方向に回転することにより前記両面をそれぞれ洗浄処理するための一対の回転ブラシ2,3と、ウェーハ1の、一対の回転ブラシ2,3によってウェーハ1に沿う方向に作用する力Dの方向側のエッジ部を保持するとともに、ウェーハ1を回転させるための一対のエッジ部洗浄用ローラー4,5とである。エッジ洗浄用ローラー4,5の表面の洗浄用弾性部材に、ウェーハ1のエッジ部が入り込むような略V字型の周溝が形成されている。一対の回転ブラシ2,3によりウェーハ1の上下面を洗浄するとともに、ウェーハ1のエッジ部を回転するエッジ部洗浄用ローラー4,5に押圧し、ウェーハ1は回転しつつ全周のエッジ部がエッジ部洗浄用ローラー4,5の洗浄用弾性部材で擦られて洗浄される。
請求項（抜粋）：
両面に洗浄液を供給されるウェーハの前記両面を挟持するとともに、互いに逆方向に回転することにより前記両面をそれぞれ洗浄処理するための一対の回転ブラシと、前記ウェーハの、前記一対の回転ブラシによって前記ウェーハに沿うように作用する力の方向側のエッジ部に接触して前記ウェーハを定位置に保持するとともに、回転することにより前記ウェーハを回転させるための、表面に洗浄用弾性部材が被覆されたエッジ部洗浄用ローラーと、を備えていることを特徴とするウェーハの洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 1/04
, H01L 21/304 341
B08B 1/04
, H01L 21/304 341 B
