特許

J-GLOBAL ID：200903005503324749

感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者： 長屋 秀仙
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-250209
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能なポジ型パターン形成能を有するポリイミドからなる感光性樹脂組成物とその製造方法を提供する。【解決手段】 (A)次式の繰返し単位を含む感光性ポリイミド、(但し、式中、R1 は、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物残基などの4価の有機基、R2 は、3,5-ジアミノ安息香酸残基などの3価の有機基、R3 は基末にジアゾナフトキノン又はフェノール性OHをもつ1価の有機基である)(B)上記の(A)感光性ポリイミドの合成に用いるジフェニル(2,3-ジヒドロ-2-チオキソ-3-ベンゾオキサゾール)ホスホナートなどの脱水縮合剤、(C)ジアゾナフトキノン化合物などの感光剤および(D)溶剤からなる感光性樹脂組成物とその製造方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示される繰返し単位を含む感光性ポリイミド、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -若しくは-CH2-で結合された4価の有機基であり、R2 は、3価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された3価又は4価の芳香族基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -若しくは-CH2 -で結合された3価又は4価の芳香族基であり、R3 は、基末に-O-SO2 -若しくは-NH-SO2 -を介して結合されたジアゾナフトキノン環をもつ1価の有機基又は基末にフェノール性OHをもつ1価の有機基であり、nは1又は2の整数を表す)(B)上記の(A)感光性ポリイミドを合成するにあたり用いる脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感度を向上させる感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 501 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/023 501 ,  C08L 79/08 Z ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (27件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BE02 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002EQ017 ,  4J002EV217 ,  4J002EV227 ,  4J002EW126 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002GQ05 ,  4J002HA05