特許

J-GLOBAL ID：200903005505400434

ウエハキャリア装置

発明者： 前山 純 ,  馬場 祐之 ,  鈴木 雅己 ,  時田 和章
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124133
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335718
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 キャリアカセットに収納された半導体ウエハの取り出し時における半導体ウエハの吸着不良や損傷を防止できるウエハキャリア装置を提供する。【構成】 半導体ウエハ1の外周部がカセット治具5上に支持されて上下方向に複数枚収納されるキャリアカセット2と、半導体ウエハ1の下面を吸着して半導体ウエハ1のキャリアカセット2に対する収納および取り出しを行う搬送アーム4と、搬送アーム4の複数箇所に設けられ、搬送される半導体ウエハ1と搬送アーム4との距離を測定する光センサ4bと、光センサ4bの検出信号によって、半導体ウエハ1とこの半導体ウエハ1の下方に進入した搬送アーム4とが平行位置となるように相対的な傾斜位置調節を行う傾斜角調節部7とを設ける。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハを、その各々の外周部がカセット治具上に支持された状態で上下方向に複数枚収納するキャリアカセットと、前記半導体ウエハの下面を吸着して該半導体ウエハの前記キャリアカセットに対する収納および取り出しを行う搬送アームと、前記搬送アームの複数箇所に設けられ、搬送される半導体ウエハと前記搬送アームとの距離を測定する距離測定センサと、前記距離測定センサの検出信号によって、前記半導体ウエハと該半導体ウエハの下方に進入した前記搬送アームとが平行位置となるように相対的な傾斜位置調節を行う傾斜角調節手段とが設けられていることを特徴とするウエハキャリア装置。