電圧非線形素子とその製造方法および製造用金属有機物ペースト、並びに上記電圧非線形素子を駆動素子とする液晶表示装置およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野寺洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256340
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077012
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】大面積にわたり膜厚と膜質が均一でIC回路やディスプレイパネル等の電子部品,装置への応用が可能な電圧非線形素子を提供する。【構成】絶縁基板1上に下部電極膜2,電圧非線形膜3および上部電極膜4を順次積層した構成を有してなり、上記電圧非線形膜3をZnの金属有機物とBi,Mn,Co,Cr,Sbの中から選ばれた少なくとも1種の金属有機物との混合物の焼成により形成された金属酸化物とした。【効果】構成膜を金属有機物の熱分解による成膜法で形成するために、所謂薄膜層から構成された薄型の電圧非線形素子を得ることができる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に下部電極膜,電圧非線形膜,上部電極膜を順次積層した構成を有する電圧非線形素子において、前記下部電極膜,電圧非線形膜,上部電極膜が、金属有機物ペーストを塗布,焼成して形成した金属または金属酸化物の何れかからなると共に、前記下部電極膜が二層構造であることを特徴とする電圧非線形素子。

IPC (6件)：

H01C 7/10 , C23C 18/08 , C23C 18/12 , G02F 1/133 , H01C 17/06 , H01L 49/02

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-024524
特開平4-003901
特開平3-103831

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