特許
J-GLOBAL ID：200903005510242286
マイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するシステム及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-281940
公開番号（公開出願番号）：特開2008-135156
出願日： 2007年10月30日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】マイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するためのシステム及び方法を提供する。【解決手段】正弦波電圧などの電圧を参照ユニットに印加することで参照ユニット及びテストユニットの振動を引き起こす(S602)。そして相応する共振特性(例えば周波、振幅、位相など)の比較(例えば、プロセッサを用いる)によって、テストユニットに問題があるか否かを確認する(S604、S606,S608)。参照ユニットは、ハードディスクドライブ装置のヘッドジンバルアセンブリ或いはヘッドサスペンションアセンブリを有することができる。また、テストユニットは検知に使用される部品を含んでいる。この技術によれば、各マイクロアクチュエータに圧電素子が一つだけ含まれる場合でも、圧電素子の問題を検知することができる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
一つの参照用マイクロアクチュエータと連結して、当該参照用マイクロアクチュエータを基準共振の状況で振動させる電圧分配器と、
前記参照用マイクロアクチュエータからの振動により誘導されて被試験共振の状況で振動する試験用マイクロアクチュエータと、
前記基準共振の少なくとも一つの特性と、この特性に相応する前記被試験共振の少なくとも一つの特性とを比較するためのプロセッサと、
を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するシステム。
IPC (3件)：
G11B 21/10
, H01L 41/09
, H01L 41/22
G11B21/10 N
, H01L41/08 C
, H01L41/08 U
, H01L41/22 Z
