特許
J-GLOBAL ID：200903005515300900
薄膜磁気ヘッドの製造装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-237535
公開番号（公開出願番号）：特開平10-088397
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】フレームめっきにおいて細くて深い溝底面に対するめっきが不安定であった。【解決手段】撹拌棒を通常のめっき液撹拌目的だけではなくスリットを設け撹拌棒内部を通り基板とアノードを同時に新液を吹き付けることにより溝底面に確実に新液が供給される構造をもたす。
請求項（抜粋）：
撹拌棒を用いてめっき液を撹拌させながらめっきする装置において撹拌棒からめっき液を噴出する構造を持つことを特徴としためっき装置。
IPC (4件)：
C25D 21/10 301
, C25D 17/00
, G11B 5/31
, G11B 5/84
C25D 21/10 301
, C25D 17/00 E
, G11B 5/31 M
, G11B 5/84
