特許
J-GLOBAL ID：200903005522800748
減圧装置昇圧用パージガス導入装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-024781
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190497
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 減圧装置にパージガスを導入する供給配管の外壁に結露の生ずることをなくし、設備環境の汚染防止を図ると共に、減圧装置内の排気効率を増大すること。【構成】 パージガス供給源と減圧装置とを連通する供給配管30を、冷却手段32に通した後、昇温手段34中に配置することにより、冷却手段32で冷却された供給配管30中のパージガスを昇温手段34で少なくとも室温付近に昇温し、配管内外の温度差による配管外壁への結露を防止する。また、導入されるパージガスのドライ化により、減圧装置内壁に付着した不純物の排気が容易となる。
請求項（抜粋）：
減圧装置内を昇圧するために該減圧装置内へパージガスを導入するパージガス導入装置であって、パージガス供給源と減圧装置とを連通する供給配管と、この供給配管の一部を冷却して前記パージガス中の水分をトラップする冷却手段と、この冷却手段によって冷却された前記供給配管内のパージガスを少なくとも室温付近に昇温する昇温手段と、を備えたことを特徴とする減圧装置昇圧用パージガス導入装置。
引用特許：
前のページに戻る
