特許
J-GLOBAL ID：200903005523627489
改良された静電チヤック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須賀 総夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123907
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029968
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 たとえば真空スパッタリングなどの処理作業のために半導体ウエハーその他の材料を保持するための静電保持装置において、残留静電荷が装置の表面に蓄積してウエハーを保持し、処理が完了した時にウエハーを解放する妨げとなる問題を解消する。【構成】 残留静電荷の少なくとも大部分の保持効果を取消し、それによってウエハーを解除できるようにするために、静電チャックに印加すべき励振電圧の値を決定する。 解放できるようにするために印加すべき励振電圧の値は、励振電圧を変化させながらウエハーの運動を監視することにより決定される。 ウエハーの運動はウエハーが本体により保持されているか、否かを示すことができる。
請求項（抜粋）：
残留静電荷によって保持装置に静電気的に保持された物体を解放しやすくする方法において、その物体に対する残留静電荷の保持効果を本質的に無効にするために、その保持装置に電圧を印加する工程を含むことを特徴とする方法。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
, H01L 21/203
, H01L 21/302
