圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242901
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060252
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】耐電圧性の高い薄膜の圧電膜を備えた圧電アクチュエータを得る。【解決手段】インクジェットヘッド1のアクチュエータとして、Pb、ZrおよびTiを含むペロブスカイト型構造を有し、0.3<Zr<0.8(Zr+Ti=1)、Pb/(Zr+Ti)=1.1〜1.5、膜厚が1μm〜10μm且つ比誘電率が150〜500の圧電膜18によって形成され、圧電膜18中に含有される異物の大きさが圧電膜18の膜厚の2倍以内であり、電極の少なくとも一方は圧電膜18の膜厚の1/2以下の膜厚であり、電極の表面粗さが最大高さで0.2μm以内であることを備えた圧電アクチュエータ16を用いる。

請求項（抜粋）：

上部電極と下部電極との間に圧電体が設けられてなる圧電アクチュエータであって、前記圧電体は、スパッタリング、CVD法またはゾルゲル法の何れかの成膜方法により成膜され、圧電膜中に含有される異物の大きさが当該圧電膜の膜厚の2倍以内であることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (8件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , C01G 25/00 , C23C 14/08 , H01L 41/18 , H01L 41/187

FI (9件)：

C01G 25/00 , C23C 14/08 K , C23C 14/08 N , H01L 41/08 C , B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/18 101 D , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/08 U

Fターム (19件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AP14 , 2C057AP52 , 2C057AP53 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4G048AA03 , 4G048AB01 , 4G048AB02 , 4G048AC01 , 4G048AD02 , 4G048AD08 , 4G048AE05 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029CA05 , 4K029DC05

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