特許
J-GLOBAL ID：200903005524725182
ウェーハデボンダ及びこれを用いたウェーハデボンディング法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282601
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167724
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハをデボンディングする装置及びこれを用いてウェーハをデボンディングする方法を提供する。【解決手段】 その上面が平坦な第1台100aと、第1台100aの上部に位置しその下面が第1台100aの上面に対して所定の傾斜を有するように設けられた第2台100bと、第1台100aと第2台100bとを連結する連結部100cよりなるウェーハ装着器200と、第1台100aに装着された第1ホルダー110と、第2台100bの下面の延長面に位置した第2ホルダー120と、ウェーハ装着器200の前面に設けられたノズル130とを具備する。従って、本発明によれば、ウェーハの表面にかき傷等の欠陥を発生させないと共にウェーハをデボンディングし得る。
請求項（抜粋）：
その上面が平坦な第1台と、前記第1台の上部に位置しその下面が前記第1台の上面に対して所定の傾斜を有するように設けられた第2台と、前記第1台と第2台とを連結する連結部よりなるウェーハ装着器と、前記第1台に装着された第1ホルダーと、前記第2台の下面の延長面に位置した第2ホルダーと、前記ウェーハ装着器の前面に設けられたノズルとを具備することを特徴とするウェーハデボンダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 B
, H01L 27/12 B
