特許

J-GLOBAL ID：200903005534063412

共振型振動素子

発明者： 持田 洋一 ,  長谷川 友保 ,  森屋 和文 ,  厚地 健一 ,  田中 克彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343537
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174569
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 検知感度が良好で、かつ、極めて小型の共振型振動素子を提供する。【構成】 Si基板1と圧電体2の積層構造からなる片持梁のSi基板1側に、4本の梁4からなる両持梁の第1の振動体8と、この第1の振動体8の中央部に上下方向(紙面に垂直方向)に振動する第2の振動体10を形成する。前記圧電体2に直流電圧を印加して、圧電体2に圧縮応力を発生させると、Si基板1に引っ張り応力が加わり、第1の振動体8は引っ張られ、その張力により共振周波数が高くなる。圧電体2の印加電圧を調整することにより、第1の振動体8の共振周波数と、第2の振動体10の共振周波数を一致させる。

請求項（抜粋）：

共振周波数で振動させる振動体を備えた共振型振動素子において、前記振動体が、弾性材料基板と圧電体との積層構造からなる片持梁又は両持梁の弾性材料基板側表面に形成されていることを特徴とする共振型振動素子。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ジャイロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127403   出願人：多摩川精機株式会社