特許

J-GLOBAL ID：200903005536048399

セラミックヒータ

発明者： 小松 政男
出願人/特許権者： アダマンド工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106251
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295779
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】 高速昇温、大出力でありかつ熱効率の高いセラミックヒータを提供する。【構成】 2枚のヒータベース基板に発熱体を挟持してなるヒータにおいて、ベース基板に窒化アルミニウム(AlN)を使用し、挟持される発熱体は金属薄膜で構成する。

請求項（抜粋）：

2枚のヒータベース基板に発熱体を挟持してなるヒータにおいて、ベース基板に窒化アルミニウム(AlN)を使用し、挟持される発熱体は金属薄膜であることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H05B 3/10