特許
J-GLOBAL ID：200903005536082384
カーボンナノチューブを表面に有する炭素質物及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025037
公開番号（公開出願番号）：特開平9-221309
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 カーボンナノチューブを含む電子線源素子を容易に製造可能とする新規な炭素物質及びその製造方法を提供する。【解決手段】 炭素質固体表面上の一部にカーボンナノチューブを形成させてなることを特徴とする炭素質物。炭素質固体表面上の一部に、高真空下でイオンビームを照射し、その照射面にカーボンナノチューブを形成させることを特徴とする炭素質物の製造方法。
請求項（抜粋）：
炭素質固体表面上の一部にカーボンナノチューブを形成させてなることを特徴とする炭素質物。
IPC (2件)：
C01B 31/02 101
, C23C 14/46
C01B 31/02 101 Z
, C23C 14/46 B
