半導体製造装置およびその駆動方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317753
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153673
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置における各ユニットの駆動をより簡便に行えるようにする。【構成】コンソール部のディスプレイ上に、ユニットの位置をグラフィック表示および座標値により表示するとともに、ユニットの位置を複数記憶し、記憶された複数位置から1つを選択するための入力を受け入れ、この選択された位置にユニットを駆動させる。また、ユニット位置のグラフィック表示および座標値表示を駆動状態で行う場合は、実際のユニットの駆動に時間的に追従させて行う。表示および記憶するユニット位置は、その表示または記憶する時点でのユニットの現在位置、またはコンソール部において入力される任意の値である。また、ディスプレイ上に表示されたユニットの現在位置を、タッチパネルもしくはマウス等のポインティングデバイスにより選択し、その選択位置を移動させることにより、その移動に同期させてユニットを駆動する。

請求項（抜粋）：

装置を構成するユニットと、その動作を制御する制御手段と、この制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた半導体製造装置において、コンソール部は、前記ディスプレイ上に、前記ユニットの位置をグラフィック表示および座標値により表示するものであることを特徴とする半導体製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-157748
特開平4-064215
特開平2-230711

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