特許

J-GLOBAL ID：200903005538888360

デバイス露光装置および方法

発明者： 安福 祐次
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068994
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256140
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 一個のデバイスを複数エリアに分けて露光する際、より短い時間で露光する。【解決手段】 被露光体上の1つの露光エリアを複数のサブエリアに分けて露光する際、隣合うサブエリア同士の一部が重なり合うように各サブエリアを設定し、マスキングブレードを開閉することにより露光すべきサブエリアを区分し、2つまたは4つのサブエリアが重なり合う部分の露光光に対して透過率がサブエリアの外に行くにしたがって低くなる減光部材を露光光の光路中に入れた状態で露光する。

請求項（抜粋）：

被露光体上の1つの露光エリアを複数のサブエリアに分けて露光する露光装置において、隣合うサブエリア同士の一部が重なり合うように各サブエリアを設定する手段と、被露光体上の露光すべきサブエリアを他の部分から区分するマスキングブレードと、前記露光エリア内の2つまたは4つのサブエリアが重なり合う部分の露光光に対してレチクルの共役面に配置される透過率がサブエリアの外に行くにしたがって低くなる減光部材とを有することを特徴とするデバイス露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 Z ,  G03F 7/20 521