特許

J-GLOBAL ID：200903005540547561

光電子増倍管の保護機構

発明者： 西村 定智 ,  飯塚 繁晴 ,  池谷 和之 ,  三友 健司 ,  細野 秀利
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173815
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340886
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ表面検査装置において、回転機構2が着脱位置にある時間中における、受光系5に対するレーザビームLT の入射を防止し、光電子増倍管52を保護する。【構成】 回転機構2が着脱位置にあるとき、投光系4よりのレーザビームLTを受光し、これを受光系5に入射しない水平方向に反射する反射器6を、回転機構2の駆動部21に取り付ける。【効果】 ウエハ1の検査に支障せず、光電子増倍管52の無用な劣化が防止される。

請求項（抜粋）：

被検査のウエハを水平に装着して回転するスピンドルと、該スピンドルを回転する駆動部よりなる回転機構、および該回転機構を該ウエハの着脱位置と検査位置の間に移動する移動テーブルとを具備し、該着脱位置で該スピンドルに装着され、該検査位置に移動した前記ウエハの表面に対して、レーザビームを鉛直に投光する投光系と、該表面に存在する異物などの散乱光を、複数の方向でそれぞれ受光する複数の光電子増倍管を有する受光系とにより構成されたウエハ表面検査装置において、前記回転機構の駆動部に取り付けられ、前記回転機構が前記着脱位置にあるとき、前記投光系よりのレーザビームを受光して、前記受光系に入射しない水平方向に反射する反射器を設けたことを特徴とする、光電子増倍管の保護機構。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66