特許
J-GLOBAL ID：200903005543413990
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-285164
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129270
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 従来に較べて良好な洗浄処理を実施することができるとともに、薬液を加熱して行う洗浄処理に対しても対応することのできる洗浄装置を提供する。【構成】 ローダ5上に載置されたウエハキャリア60内の半導体ウエハを回転搬送アーム9によって受け取り、洗浄処理槽10、11、水中ローダ7に順次搬送し、洗浄処理ユニット2による洗浄処理を実施する。同様に、洗浄処理ユニット3による洗浄処理を実施する。しかる後、水中ローダ8によって、半導体ウエハを洗浄処理ユニット4に移送し、回転搬送アーム15によって、乾燥処理槽17に搬送する。また、回転搬送アーム15のウエハフォークを洗浄・乾燥機構16内に挿入して洗浄・乾燥を実施し、アンローダ6にアンロードする。アンモニア処理を行う洗浄処理槽11および塩酸処理を行う洗浄処理槽13の排気管には、トラップ機構が設けられている。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を洗浄するための洗浄処理槽およびこの洗浄処理槽を収容する洗浄処理室とを備えた複数の洗浄機構と、前記洗浄処理槽毎に設けられ、前記被洗浄物を支持して洗浄を実施する洗浄用支持手段と、前記被洗浄物を支持し、搬送して前記洗浄用支持手段にロード・アンロードする搬送用支持手段と、前記洗浄処理室から排気するための排気管を備えた排気機構と、前記排気管に介挿され、該排気管内を流通する排気気体を冷却して、この排気気体中の液体成分を捕集するトラップ機構とを具備したことを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 351
, H01L 21/304 341
