特許

J-GLOBAL ID：200903005543813718

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 平岡 良一 ,  梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243562
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072623
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 各種放射線に有効に感応し、特に0.3〜0.4μmオーダーの微細パターンにおけるフォーカス許容性が優れるとともに、パターン形状、感度、解像度、現像性、耐熱性等にも優れたレジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (イ)下記式(1)で代表される化合物と下記式(2)で代表されるフェノール類とをアルデヒド類と重縮合して得られるアルカリ可溶性樹脂、および(ロ)キノンジアジドを含有することを特徴とするポジ型感放射線樹脂組成物。【化1】(ここで、R8〜R10 は相互に同一でも異なってもよく、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示し、a、cおよびeはそれぞれ1〜3の整数である。)【化2】(ここで、gは1〜3の整数である。)

請求項（抜粋）：

(イ)下記式(1)で表される化合物と下記式(2)で表されるフェノール類とをアルデヒド類と重縮合して得られるアルカリ可溶性樹脂、および(ロ)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1〜R3は相互に同一でも異なってもよく、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜14のアリール基または炭素数7〜18のアラルキル基を示し、R1〜R3がそれぞれ複数存在する場合はさらに相互に同一でも異なってもよく、R4〜R7は相互に同一であっても異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜14のアリール基または炭素数7〜18のアラルキル基を示し、R8〜R10 は相互に同一でも異なってもよく、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示し、a、cおよびeはそれぞれ1〜3の整数、b、dおよびfはそれぞれ0〜3の整数であり、a+b≦4、c+d≦4、e+f≦4である。〕【化2】〔式(2)において、R11 は炭素数1〜9のアルキル基、炭素数2〜8のアルケニル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基、炭素数7〜18のアラルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、炭素数7〜15のアラルキルオキシ基、炭素数2〜7のアシル基、炭素数6〜10のアリールオキシ基または炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基を示し、R11 が複数存在する場合は相互に同一でも異なってもよく、gは1〜3の整数、hは0〜3の整数であり、g+h≦4である。〕

IPC (3件)：

G03F 7/023 511 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027