特許
J-GLOBAL ID：200903005543827913

ステッパアライメントのための自己補正マークの配置

発明者：
ピエール、レルー

ピエール、レルー について


出願人/特許権者：
コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ

コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ について


代理人 (6件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  箱崎 幸雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-550447
公開番号（公開出願番号）：特表2004-516661
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
【課題】集積回路製造プロセスにおいて回転エラーを正確に補正する。【解決手段】ウェーハアライメントシステムは、ステッパショット410ごとに4つのアライメントターゲット420a、420b、430a、430bを用いる。これらの4つのアライメントターゲットは、四辺のステッパショットの各側部上のスクライブ線404内に配置されている。ステッパショットの対向する側部上のターゲットは、鏡像位置に配置されている。これにより回転誤差の補正が可能になる。【選択図】図4B
請求項（抜粋）：
ステッパを用いて集積回路を作るためのウェーハであって、 その周辺に沿ってスクライブ線を有している四辺のステッパショットを受取る第1の領域と、 前記スクライブ線内に配置され、前記ステッパショットと前記第1の領域とを位置合わせするための4つのアライメントターゲットとを備え、 一つのアライメントターゲットは、前記ステッパショットの各辺上に配置されており、 前記ステッパショットの第1の辺上のアライメントターゲットと、前記第1の辺と対向する前記ステッパショットの第2の辺上のアライメントターゲットとは、鏡像位置に配置されているウェーハ。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G03F1/08 ,  G03F9/00
FI (3件)：
H01L21/30 523 ,  G03F1/08 N ,  G03F9/00 H
Fターム (9件)：
2H095BA02 ,  2H095BE03 ,  2H095BE08 ,  2H095BE09 ,  5F046BA04 ,  5F046EA26 ,  5F046EB07 ,  5F046ED02 ,  5F046FC06
引用特許：
審査官引用 (3件)

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