ニュートラライザおよびこれを備えた成膜装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：秋山敦 , 城田百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061558
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242368
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】多くの電子電流を引き出すことが可能であると共に、長寿命化を図ることが可能なニュートラライザを提供する。【解決手段】一方の端部から電子電流を引き出し可能な放電管4と、放電管4内にガスを導入するガス導入管3と、この放電管4の内部でプラズマを発生させる高周波誘導コイル5と、放電管4の内部に配設されたカソード電極6と、放電管4の開口4a側に配設された第一のキーパ電極7と、カソード電極6よりも正電位となるように第一のキーパ電極7に電圧を印加する引出し電源13と、第一のキーパ電極7と離間して配設された第二のキーパ電極8と、この第二のキーパ電極8にカソード電極6よりも正電位となる自己バイアス電圧を印加するコンデンサ16と、を備える。第二のキーパ電極8の自己バイアス電圧により多くの電子電流が引き出すことができると共に、第二のキーパ電極8はスパッタされにくくなるため、長寿命化を図ることが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子ビームを引き出し可能な開口を一方の端部に有する放電管と、該放電管内にガスを導入するガス導入管と、前記放電管内で前記ガスのプラズマを発生させるプラズマ発生電極と、前記放電管内に配設されたカソード電極と、前記放電管の前記開口側に配設された第一のキーパ電極と、前記カソード電極よりも正電位となるように前記第一のキーパ電極に電圧を印加する引出し電源と、前記放電管の前記開口側に前記第一のキーパ電極と離間して配設された第二のキーパ電極と、該第二のキーパ電極に前記カソード電極よりも正電位となる自己バイアス電圧を印加する自己バイアス手段と、を備えたことを特徴とするニュートラライザ。

IPC (5件)：

H01J 37/077 , H01J 37/20 , H01J 37/317 , C23C 14/22 , H01L 21/285

FI (5件)：

H01J37/077 , H01J37/20 H , H01J37/317 Z , C23C14/22 F , H01L21/285 P

Fターム (8件)：

4K029CA09 , 4M104DD36 , 4M104HH08 , 5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC07 , 5C001CC08 , 5C034CC13

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3606842号公報

審査官引用 (5件)

特開平4-043543
イオンビーム処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-159809 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
特開平4-043543

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