特許
J-GLOBAL ID：200903005552731082

逆メサ型圧電振動片、逆メサ型圧電デバイスおよび逆メサ型圧電デバイスの製造方法

発明者：
小林 淳治

小林 淳治 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-331543
公開番号（公開出願番号）：特開2009-159000
出願日： 2007年12月25日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】薄肉になっている平坦領域を広げつつ強度を確保することにより小型化した逆メサ型圧電振動片、逆メサ型圧電デバイスおよび逆メサ型圧電デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】逆メサ型圧電振動片は、圧電素板12と電極パターンを有している。この圧電素板12の一方の主面14には、その周縁部に厚肉部20を設けることにより、厚肉部20によって囲まれる凹陥部18を形成している。また圧電素板12の他方の主面16には、エッチング残渣が最も大きくなる辺に交差する方向に沿い、且つ、凹陥部18の底面18aに対向した溝部24を設けている。そして凹陥部18の底面18aと溝部24との対向部分が薄肉部28(平坦領域)となっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電素板における一方の主面の周縁部に第1厚肉部を設けて、前記第1厚肉部によって囲まれる凹陥部を設け、 前記圧電素板の他方の主面には、残渣が最も大きくなる辺に交差する方向に沿い、前記第1厚肉部に対向した第2厚肉部を少なくとも1つ設け、 前記第2厚肉部が側壁となることによって形成される溝部は、前記凹陥部に対向し、且つ、前記残渣が最も大きくなる辺を切り欠いて前記圧電素板の側面に露出した、 ことを特徴とする逆メサ型圧電振動片。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
H03H9/19 D ,  H03H3/02 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (14件)：
5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC01 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08
引用特許：
出願人引用 (2件)

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