液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185599
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073796
出願日： 1991年04月25日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】厚さ0.7mm以下のガラスまたはプラスチック等からなる薄型基板を用いても、表示品位に優れた液晶表示素子を得ることができる液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子製造装置を提供する。【解決手段】ステージ2の載置面は、その上に載置されるフレキシブル基板1と同等、またはそれ以上の面積を有する。フレキシブル基板1にレジスト等を塗布する際には、中央側の有効使用範囲を除く周縁部に設けられた周縁側吸着孔3のみ作用する状態でフレキシブル基板1を吸着固定しておく。このことにより、フレキシブル基板1の有効使用範囲内のフラット性が吸着により損なわれないため、フレキシブル基板1自身の平面性が保持され、均一な膜厚を有する膜が得られる。この結果、液晶表示素子の表示特性が向上する。

請求項（抜粋）：

複数の吸着孔が互いに離間してそれぞれ開口する平坦な載置面を有する載置台上に、前記吸着孔を通して吸着力を作用させて薄型基板を固定し、前記薄型基板に各種の処理を施す液晶表示素子の製造方法において、前記載置面を前記薄型基板と同等以上の面積として、前記薄型基板の有効使用範囲を除く周縁部に位置する前記吸着孔を通して吸着力を作用させた周縁吸着状態で、前記薄型基板を固定して各種の処理を施すことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。

IPC (6件)：

G02F 1/13 101 , G03F 7/115 , G03F 7/16 501 , H05K 13/04 , B05C 11/08 , B05C 13/02

FI (6件)：

G02F 1/13 101 , G03F 7/115 , G03F 7/16 501 , H05K 13/04 Q , B05C 11/08 , B05C 13/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-324818
特開平3-016207
特開平1-281190

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