特許

J-GLOBAL ID：200903005563485857

アーク放電防止回路

発明者： 栗山 昇 ,  下畝 雄一郎
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311418
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 電気的に負荷として機能するターゲットを備えたスパッタ装置やマグネトロンスパッタ装置と、DC電源に接続するには、ケ-ブルを利用している。しかし、その長さにより振動条件が変化し、最悪の条件でも振動が確保できない知見に基ずいて本発明は完成したもので、アーク放電エネルギーにより、製品の規格を損なうのを防止する点。【構成】 電源に接続するケーブルの正負端子をスパッタ装置のターゲットに接続し更に、ターゲットとケーブルには、コンデンサー5を接続すると共に,その負端子とターゲット間にインダクタンスを設る。その上ターゲットに最適のリアクタンスでターゲットと並列にダイオードを形成して構成する。このようなアーク放電防止回路を電源とスパッタ装置間にケーブルを介して設けると、アーク放電時のエネルギーによってスパッタ装置により堆積する薄膜の製品規格を損なうこと防止できる。

請求項（抜粋）：

電源回路に接続するケーブルと,このケーブルの正負端子に接続するターゲットと,このターゲットとケーブル間に接続するコンデンサーと,このコンデンサーの負端子とターゲット間に接続するインダクタンスと,前記ターゲットに最適のリアクタンスでターゲットと並列に接続するダイオードとを具備することを特徴とするアーク放電防止回路

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  H05H 5/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-111173
  
• 特開平2-030426
  
• アーク放電防止回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-117834   出願人：株式会社芝浦製作所