成膜装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369699
公開番号（公開出願番号）：特開2006-176813
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】この発明は、蒸着材の膜厚を均一に成膜できる成膜装置を提供することを課題とする。【解決手段】成膜装置30は、基板21の被蒸着面21aに離間対向した開口部をそれぞれ有し走査方向Sと直交する蒸着源22の並び方向Lに沿って並設された矩形筒状の複数の区画部材23を有する。各区画部材23の開口部には、6角形の開口32を有する遮蔽部材31が設けられている。遮蔽部材31の各開口32は、隣接する辺が外側に折り曲げられている。これにより、被蒸着面21aに投影される蒸着領域は、部分的に重なることになる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

平らな被蒸着面を有する被蒸着部材と上記被蒸着面に離間対向して並設された複数の蒸着源とを上記複数の蒸着源の並び方向と交差する走査方向に相対的に移動させ、上記被蒸着面に蒸着材を成膜する成膜装置において、上記複数の蒸着源からそれぞれ拡散する蒸着材が隣接する蒸着源間で干渉しないように区画する複数の筒状の区画部材と、上記各蒸着源から離間した上記各区画部材の上記被蒸着面に対向する開口部にそれぞれ設けられ、上記被蒸着面に蒸着材が蒸着される蒸着領域の形状を規定する形状の開口を有する複数の遮蔽部材と、を有し、上記複数の区画部材および複数の遮蔽部材は、上記被蒸着部材と複数の蒸着源を上記走査方向に相対的に移動させて上記被蒸着面に蒸着材を成膜する際、上記複数の蒸着領域が上記被蒸着面で少なくとも部分的に重なり合う構造に設計されていることを特徴とする成膜装置。

IPC (5件)：

C23C 14/24 , H01J 9/22 , H01J 29/28 , H01J 29/94 , H01J 31/12

FI (6件)：

C23C14/24 C , C23C14/24 A , H01J9/22 A , H01J29/28 , H01J29/94 , H01J31/12 C

Fターム (17件)：

4K029BA03 , 4K029BD00 , 4K029DA10 , 4K029DB12 , 4K029DB14 , 4K029DB21 , 5C028CC04 , 5C028CC07 , 5C032AA01 , 5C032JJ17 , 5C036EE02 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EG36 , 5C036EG50 , 5C036EH26

引用特許：

出願人引用 (1件)

画像表示装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-377813 出願人：株式会社東芝

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