ウェハアライメント装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-043559
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246446
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】アライメント装置で使用されるラインセンサでウェハに刻設された文字又はコードを読み取ることができるアライメント装置を提供すること。【解決手段】回転軸に支持されたウェハWのエッジWEに、検出手段10Aから光を照射して、ノッチ(又はオリフラ)Nの位置と識別コードMとの位置を測定する。検出手段10Aは、光源としての半導体レーザ21Aと、ロッドレンズ22Aと、球面レンズ23Aとを有する照射部20Aと、ハーフミラー26Aとテレセントリック系レンズ27Aと開口絞り28Aとを有する結像部25Aと、ウェハWの下方に配置されて、ノッチNを検出するラインセンサ32Aと、開口絞り28Aの出口側に配置されて結像された識別コードMの位置を検出するラインセンサ31Aとを有して構成する。

請求項（抜粋）：

ウェハは回転可能に支持され、前記ウェハの縁部を検出する検出手段が配置され、前記ウェハが1回転又は1回転以上に回転する間に、前記検出手段が前記ウェハの縁部に形成された文字又はコードを読み取るとともに、前記ウェハのエッジに形成されたノッチ又はオリフラの位置、及び偏心量を、検出して前記ウェハの位置合わせを行なえるように構成されたことを特徴とするウェハアライメント装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , G02B 19/00 , G06K 9/20 310 , G06T 1/00 305 , G06T 1/00 420

FI (5件)：

H01L 21/68 M , G02B 19/00 , G06K 9/20 310 B , G06T 1/00 305 C , G06T 1/00 420 B

Fターム (43件)：

2H052BA02 , 2H052BA03 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 5B029AA03 , 5B029BB02 , 5B029BB12 , 5B029CC02 , 5B029CC21 , 5B047AA13 , 5B047BB02 , 5B047BC05 , 5B047BC09 , 5B047BC11 , 5B047BC14 , 5B047BC23 , 5B047CA12 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA15 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5F031CA02 , 5F031HA13 , 5F031HA24 , 5F031HA59 , 5F031JA03 , 5F031JA05 , 5F031JA06 , 5F031JA07 , 5F031JA15 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031JA50 , 5F031KA13 , 5F031KA14

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