硫酸-過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002996
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204486
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】硫酸ー過酸化水素洗浄槽におけるウェハ等の洗浄において、有機物並びに金属除去が可能な連続運転方法を提供する。【解決手段】硫酸ー過酸化水素洗浄槽の洗浄槽内もしくは洗浄槽外において、該洗浄槽の洗浄液の水分の一部を除去し、該洗浄槽のにおける硫酸濃度を80〜90重量%の範囲の一定濃度に保持することを特徴とする硫酸ー過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法。

請求項（抜粋）：

硫酸-過酸化水素洗浄槽の洗浄槽内もしくは洗浄槽外において、洗浄液中の水分の一部を除去し、該洗浄槽における硫酸濃度を80〜90重量%の範囲内の一定濃度に保持することを特徴とする硫酸-過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法

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