特許
J-GLOBAL ID：200903005576097082

廃ガスの処理方法およびその処理装置

発明者：
松下 純一

松下 純一 について

, 
長尾 朝巳

長尾 朝巳 について


出願人/特許権者：
学校法人東海大学

学校法人東海大学 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-070903
公開番号（公開出願番号）：特開2001-259357
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：
【要約】【課題】可燃性や支燃性等の性質を有する半導体製造用ガス等の被分解ガスを含む廃ガスを効率的かつ安全に無害化する廃ガス処理方法を提供する。【解決手段】可燃性ガス、支燃性ガスまたは酸性ガスからなる被分解ガスを含む廃ガスが接触混合された水を電解処理する。
請求項（抜粋）：
可燃性ガス、支燃性ガスまたは酸性ガスからなる被分解ガスを含む廃ガスが接触混合された水を電解処理することにより前記被分解ガスを分解することを特徴とする廃ガス処理方法。
IPC (5件)：
B01D 53/46 ,  B01D 53/34 ZAB ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31
FI (5件)：
H01L 21/205 ,  H01L 21/31 B ,  B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/34 ZAB ,  H01L 21/302 F
Fターム (36件)：
4D002AA12 ,  4D002AA18 ,  4D002AA22 ,  4D002AA23 ,  4D002AA26 ,  4D002AA27 ,  4D002AA40 ,  4D002AB01 ,  4D002AC10 ,  4D002BA02 ,  4D002BA04 ,  4D002BA05 ,  4D002BA06 ,  4D002BA08 ,  4D002CA01 ,  4D002CA06 ,  4D002CA20 ,  4D002DA51 ,  4D002EA02 ,  4D002GA02 ,  4D002GA03 ,  4D002GB01 ,  4D002GB02 ,  4D002GB06 ,  4D002GB09 ,  5F004BC08 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA13 ,  5F004DA17 ,  5F004DA20 ,  5F045AC01 ,  5F045AC07 ,  5F045AC19 ,  5F045EG07
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 排ガス処理方法および処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-334385   出願人：樫山工業株式会社
  • 特開平1-297127
  • 廃ガス処理方法および装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-000707   出願人：株式会社東芝
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