特許

J-GLOBAL ID：200903005584745298

ウエハステージ

発明者： 真柄 洋光
出願人/特許権者： 宮城沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-210112
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036827
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 ウェハの不良や破損を無くし、歩留りの向上を可能としたウェハステージを提供する。【構成】 ウェハ11に対する粘着テープ13の貼付けの際に、このウェハ11を担持するウェハステージ12において、ウェハ11をそのオリフラ側の平坦部及びオリフラ側と反対側の円周部にてそれぞれ担持する一対の担持部12a,12b間に、ウェハ11の半径とほぼ同一半径の円弧に沿って湾曲部12cを形成し、この湾曲部12cで粘着テープ13の貼付け時に変形するウェハ11を担持する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハに対する粘着テープの貼付けの際に、前記半導体ウェハを担持するウェハステージであって、前記半導体ウェハをそのオリフラ側の平坦部及びオリフラ側と反対側の円周部にてそれぞれ担持する一対の担持部と、前記一対の担持部間に前記半導体ウェハの半径とほぼ同一半径の円弧に沿って形成された湾曲部とを具備することを特徴とするウェハステージ。

IPC (2件)：

H01L 21/78 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-154712
  
• 特開昭57-121247
  
• 特開昭54-043461