プリントヘッドの製造方法及び孔加工装置並びにプリントヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353702
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291318
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、複数の逆テーパの孔を一括に、しかも被加工物を動かすことなく、マスクの損傷なく形成する。【解決手段】オリフィス孔25とするための複数の円形開口18が形成されたマスク17とオリフィスプレート20との間に、これらマスク17とオリフィスプレート20との両者に対してテレセントリックであるテレセントリック結像光学系19を配置し、マスク17に照射するレーザ光12のビーム入射角S1 を変化させ、マスク17を通過したマスク像を、テレセントリック結像光学系19によりマスク17へのビーム入射角S2 に対応するビーム入射角S3 でオリフィスプレート20に結像して、オリフィスプレート20にオリフィス孔25を形成する。

請求項（抜粋）：

プリントヘッド筐体に被加工物を固定した後に開口部が形成されたマスクと前記被加工物との間に、結像光学系を配置することで、前記マスクに照射するレーザ光の入射角を変化させ、前記マスクの前記開口部を通過したマスク像を、前記結像光学系により前記マスクへのビーム入射角に比例する角度にて前記被加工物へ前記結像光学系によって結像して、前記被加工物にインク噴出孔を形成することを特徴とするプリントヘッドの製造方法。

IPC (4件)：

B41J 2/135 , B23K 26/00 330 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (3件)：

B41J 3/04 103 N , B23K 26/00 330 , B41J 3/04 103 A

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