特許

J-GLOBAL ID：200903005605705402

光学式位置検出装置

発明者： 品田 伸宏 ,  大家 清 ,  長沼 義広 ,  高橋 顕 ,  荒井 治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351702
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151513
出願日： 1992年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 被検物体面からの反射光の正反射成分の変動により影響されず、位置検出精度の高い光学式位置検出装置を提供する。【構成】 照明手段から直線偏光2を被検物体面4に投射し、反射光5のうち正反射光成分を検光子6により除去する。

請求項（抜粋）：

光源を有し、被検物表面に光を投射する投光手段と、前記被検物表面からの反射光を集光する受光光学系と、前記受光光学系で集光された前記反射光を受光する受光手段とを備え、前記受光手段における前記反射光の受光位置から前記被検物表面の高さ方向の位置を検出する光学式位置検出装置において、前記投光手段は、直線偏光を射出し、前記被検物表面と前記位置検出手段との間に配置され、前記被検物表面からの前記反射光のうち、正反射成分を除去する検光子を有することを特徴とする光学式位置検出装置。