特許

J-GLOBAL ID：200903005605920737

電子線描画装置

発明者： 早田 康成 ,  染田 恭宏 ,  奥村 正秀 ,  安藤 公明 ,  伊藤 博之 ,  宮田 正順
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219036
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083740
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】電子線描画装置の偏向電子ビーム位置の応答遅れを正確かつ高速に補正する。【構成】電子線描画装置において、偏向器10,33の偏向データ15をデジタル演算部18を含む回路に入力し、時刻又は時間を含む演算を行なった後、その出力を偏向器33の偏向量にデジタル的あるいはアナログ的に加算する。【効果】電子ビーム位置の整定待ち時間が短縮しスループットが向上する。

請求項（抜粋）：

複数の偏向器のそれぞれに対応する複数の偏向データの電気信号によって電子ビームを偏向する偏向部をもつ電子線描画装置において、上記複数の偏向データの一部を用い偏向器の時間を含む応答特性の補正信号をデジタル演算によって得るデジタル演算部と、上記デジタル演算部の補正信号を複数の偏向データの少なくとも1つに加算するする手段をもつことを特徴とする電子線描画装置。