特許
J-GLOBAL ID：200903005609980696
2波長反射防止膜
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156252
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347603
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 2波長反射防止膜の紫外光に対する反射防止特性を広域化し、吸収を低減する。【構成】 基板の表面に4層の薄膜からなり、各薄膜が基板の表面から遠い順に低屈折率物質、高屈折率物質、低屈折率物質および中間屈折率物質で作られており、かつ、それぞれ0.2λ0 ないし0.4λ0 、0.04λ0 ないし0.15λ0 、0.4λ0 ないし0.6λ0 および0.4λ0 ないし0.6λ0 の光学膜厚を有する多層膜を設ける。紫外光に対する反射防止特性を大幅に広域化できるうえに、吸収の大きい高屈折率物質の薄膜が薄いために吸収の少ない2波長反射防止膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
基体の表面に積層された4層の薄膜からなる多層膜を有し、前記4層の薄膜のうちで、前記基体の表面から遠い順に第1層の薄膜が低屈折率物質、第2層の薄膜が高屈折率物質、第3層の薄膜が低屈折率物質、第4層の薄膜が中間屈折率物質でそれぞれ作られており、前記第1層の薄膜の光学膜厚D1と、前記第2層の薄膜の光学膜厚D2 と、前記第3層の薄膜の光学膜厚D3 と、前記第4層の薄膜の光学膜厚D4 がそれぞれ以下の範囲にあることを特徴とする2波長反射防止膜。0.2λ0 ≦D1 ≦0.4λ00.04λ0 ≦D2 ≦0.15λ00.4λ0 ≦D3 ≦0.6λ00.4λ0 ≦D4 ≦0.6λ0ここで、λ0 :設計波長
IPC (2件)：
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