特許
J-GLOBAL ID：200903005616179010
テープ蒸着装置の電子銃取付け構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233354
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081959
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 電子銃のメンテナンスや交換がやり易く、しかも蒸着効率を向上させたテープ蒸着装置における電子銃取付構造を提供する。【解決手段】 装置本体1内に、冷却ドラム2およびその下部近傍に蒸着容器4を設け、該蒸着容器4内の蒸着材3を加熱溶解して蒸発させるための電子銃8を備え、前記冷却ドラム表面上を蒸着すべきテープ22が通過し、該テープの蒸着部分が開口した防着マスク15をその支持部材19,23,24とともに一体化して防着板ユニット5を形成し、該防着板ユニット5を前記装置本体1に対し着脱可能に構成したテープ蒸着装置において、前記電子銃8を前記防着板ユニット5に取付けた。
請求項（抜粋）：
装置本体内に、冷却ドラムおよびその下部近傍に蒸着容器を設け、該蒸着容器内の蒸着材を加熱溶解して蒸発させるための電子銃を備え、前記冷却ドラム表面上を蒸着すべきテープが通過し、該テープの蒸着部分が開口した防着マスクをその支持部材とともに一体化して防着板ユニットを形成し、該防着板ユニットを前記装置本体に対し着脱可能に構成したテープ蒸着装置において、前記電子銃を前記防着板ユニットに取付けたことを特徴とするテープ蒸着装置の電子銃取付け構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/30 B
, G11B 5/85 A
