特許
J-GLOBAL ID:200903005616703959
水溶性ドライフィルムの剥離方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-241971
公開番号(公開出願番号):特開平6-097627
出願日: 1992年09月10日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】管理が容易な水溶性ドライフィルムの剥離方法を提供すること。【構成】銅箔を積層した基板に、ドライフィルム等の有機レジスト膜によって、めっきレジストを形成し、はんだや錫のめっきを行い、強アルカリ性水溶液で水溶性ドライフィルムを剥離する方法において、剥離液と反応性がなく、液中の溶存酸素を低減させうるガスを剥離液と接触させること。
請求項(抜粋):
銅箔を積層した基板に、ドライフィルム等の有機レジスト膜によって、めっきレジストを形成し、はんだや錫のめっきを行い、強アルカリ性水溶液で水溶性ドライフィルムを剥離する方法において、剥離液と反応性がなく、液中の溶存酸素を低減させうるガスを剥離液と接触させることを特徴とする水溶性ドライフィルムの剥離方法。
IPC (2件):
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