特許

J-GLOBAL ID：200903005621936317

テストヘッド構造およびその製造方法

発明者： 杉本 正和 ,  馬場 俊和
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 高島 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223718
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068546
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】 接触対象物に対して常に確実で良好な接触状態が得られ、信頼性の高い導通検査が行えるテストヘッド構造と、そのテストヘッド構造の好ましい製造方法を提供すること。【解決手段】 絶縁性フィルム2の一方の面に設けられたバンプ接点3と、該絶縁性フィルムの他方の面に設けられたリード1とが導通路5によって導通されてなる構造を有するテストヘッド構造であって、バンプ接点3の表面には複数の突起3bが設けられ、そのバンプ接点の表面に対する突起の配置パターンは、その面の全てのバンプ接点においても同じである。その突起の形成には、突起の型が形成された押圧プレートを、もとのバンプ接点の表面に押し当て、テストヘッド構造の全てのバンプ接点の表面に、複数の突起を同じ配置パターンで形成することを特徴とすることが好ましい製造方法である。

請求項（抜粋）：

絶縁性フィルムの一方の面に設けられたバンプ接点と、該絶縁性フィルムのいずれかの面または内部に設けられたリードとが導通されてなる構造を有し、バンプ接点の表面には複数の突起が設けられ、バンプ接点の表面に対する突起の配置パターンが、その面の全てのバンプ接点においても同じであることを特徴とするテストヘッド構造。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/02

FI (3件)：

G01R 1/073 F ,  G01R 1/06 F ,  G01R 31/02