特許
J-GLOBAL ID：200903005625559763
回転塗布方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-239863
公開番号（公開出願番号）：特開平8-103715
出願日： 1994年10月04日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】長方形状のガラス板または金属板等の基板上に、均一の膜厚にて塗布材料を塗布する手段として用いる回転塗布手段の工夫を目的とする。【構成】長方形状の基板上に塗布材料を塗布する手段として用いる回転塗布方法において、回転前の基板中央部に滴下した塗布材料の形状を、基板中心をもとに基板の回転方向に略90°回転した略長方形とし、しかる後に基板を回転させることを特徴とする回転塗布方法、およびその装置。
請求項（抜粋）：
長方形状のガラス板または金属板等の基板上に均一の膜厚にて塗布材料を塗布する手段として用いられる回転塗布方法において、回転前の長方形状の基板中央部に滴下した塗布材料の形状を、基板中心をもとに基板回転方向に略90°回転した略長方形とし、しかる後に基板を回転させることで塗布材料の塗布を行うことを特徴とする回転塗布方法。
IPC (4件)：
B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
