特許

J-GLOBAL ID：200903005626255504

電子顕微鏡

発明者： 小泉 充 ,  青木 進
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-102376
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283034
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 電子顕微鏡の各調整を要する手段の調整を的確にかつ容易にする。【構成】 電子放出手段24と、電子放出手段24から放出される電子線ELを試料Wに結像する結像手段CL1 ,CL2 ,4,7,26,28,OLと、試料Wを移動する移動手段1と、異なる複数方向の調整量を設定するための調整量設定手段22と、を有し、調整量設定手段22は、電子放出手段24、結像手段CL1 ,CL2 ,4,7,26,28,OL、および移動手段1のうちの少なくとも1つの調整しようとする手段について異なる複数方向の調整量を設定可能で、調整量設定手段22を操作したときの異なる複数方向の調整量の一定時間あたりの和を比較して前記少くとも1つの調整しようとする手段の方向を調整する構成とした電子顕微鏡。

請求項（抜粋）：

電子放出手段(24)と、電子放出手段(24)から放出される電子線(EL)を試料(W)に結像する結像手段(CL1 ,CL2 ,4,7,26,28,OL)と、試料(W)を移動する移動手段(1)と、異なる複数方向の調整量を設定するための調整量設定手段(22)と、を有し、調整量設定手段(22)は、電子放出手段(24)、結像手段(CL1 ,CL2 ,4,7,26,28,OL)、および移動手段(1)のうちの少なくとも1つの調整しようとする手段について異なる複数方向の調整量を設定可能で、調整量設定手段(22)を操作したときの異なる複数方向の調整量の一定時間あたりの和を比較して前記少なくとも1つの調整しようとする手段の方向を調整する構成とした電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/153