特許

J-GLOBAL ID：200903005627438335

基板吸着装置

発明者： 白数 廣
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006408
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190414
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】 そりの大きな基板であっても矯正可能とし、基板の吸着保持をより確実なものとする。【構成】 搬送部3の先端に吸着部2を設ける。吸着部2には吸引口2a、2b、2c、2dが設けられており、吸着部2は駆動部3により基板5の吸着面Sに直交する方向に移動可能である。移動可能な吸着部2は基板5のそりが大きい場合でも基板5に接触可能となり、さらに基板5の吸着面Sの形状に合わせて較正可能となる。この結果吸着孔4は十分な面積で基板5を吸着保持可能となる。

請求項（抜粋）：

基板が吸着保持される吸着面であって複数の吸着孔を有する吸着面と、前記基板を吸着面上に載置するように前記吸着面と直交する方向に可動可能な搬送手段と、前記吸着孔と接続され、前記基板を前記吸着面に吸着固定する吸引手段とを備えた基板吸着装置において、前記搬送手段と一体に設けられ、前記吸引手段に接続された吸引口を表面に有し、前記吸着面と直交する方向に変位可能な弾性部を有する複数の吸着部材を備え、該吸着部材が前記吸着面と直交する方向に移動可能であることを特徴とする基板吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-012948
  
• 特開昭63-155484
  
• 特開平2-156622
  
• 特開昭64-024440