特許

J-GLOBAL ID：200903005634634840

ウエハアライメント装置

発明者： 川▲崎▼ 信治
出願人/特許権者： 宮崎沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010810
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209249
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 ウエハのサイズ変更にフレキシブルに対応することができるとともに、オリフラ位置に影響されずにウエハを規定の位置にアライメントすることができるウエハアライメント装置を提供する。【解決手段】 アライメント対象となるウエハ3を載置状態にて支持するステージ2と、ステージ2の中心軸からそれと直交する方向に放射状に延びる各々の軸線L上でそれぞれ移動自在に支持された8個のスライダー7と、これらのスライダー7にそれぞれ支持されるとともに、ステージ2上におけるウエハ3の支持高さと略同一の高さ位置において互いに同一円周上に配置され且つウエハ3の外形部分に点接触にて当接可能な8個のアライメント爪9と、8つのスライダー7を各々の軸線L上で往復移動させる駆動機構10〜13とを備える。

請求項（抜粋）：

アライメント対象となるウエハを、該ウエハの外形部分を基準にして規定の位置にアライメントするウエハアライメント装置において、前記ウエハを載置状態にて支持するステージと、前記ステージの中心軸からそれと直交する方向に放射状に延びる各々の軸線上でそれぞれ移動自在に支持された複数個の移動体と、前記複数個の移動体にそれぞれ支持されるとともに、前記ステージ上における前記ウエハの支持高さと略同一の高さ位置において互いに同一円周上に配置され且つ前記ウエハの外形部分に点接触にて当接可能な複数個のアライメント爪と、前記複数個の移動体を前記各々の軸線上で往復移動させる駆動機構とを備えたことを特徴とするウエハアライメント装置。