特許
J-GLOBAL ID：200903005634769932
LiCl湿度センサの感湿素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-148050
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330576
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】小形,かつ高性能で、しかも電源を切って長時間放置してもセンサ機能を喪失しない信頼性の高いLiCl湿度センサの感湿素子を提供する。【解決手段】外形数mm程度の小サイズなSi基板9の表面に形成した絶縁層(熱酸化SiO2膜)10の上に薄膜測温素子(薄膜Pt測温抵抗体)11,絶縁性保護膜(SiO2膜)12, 1対の通電電極13, および基板上の周域に形成した絶縁層14の凹所内にLiCl感湿層15を形成し、さらにLiCl感湿層の表面を覆って多孔質撥水性の保護皮膜(水蒸気は自由に透過するが、LiCl溶液は透過を阻止する多孔性PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)膜)を絶縁層14の上面にエポキシ接着剤19で貼着する。
請求項（抜粋）：
表面に絶縁層を形成したSi基板上に薄膜測温素子,絶縁保護膜,一対の通電電極,および該通電電極の間を覆うLiCl感湿層を順に積層形成し、さらにLiCl感湿層の表面を、水蒸気は透過するがLiCl溶液の透過を阻止する多孔質撥水性の保護皮膜で被覆したことを特徴とするLiCl湿度センサの感湿素子。
Fターム (13件)：
2G040AA04
, 2G040BA12
, 2G040BA23
, 2G040CA03
, 2G040CA13
, 2G040CA22
, 2G040CB02
, 2G040DA02
, 2G040DA12
, 2G040EB02
, 2G040FA01
, 2G040GA05
, 2G040HA11
