特許

J-GLOBAL ID：200903005649079525

マイクロフォーカスX線発生装置

発明者： 丸野 浩昌
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205973
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025484
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 高圧ソケット部の真空側に曝される表面からのガス放出を少なくし高真空でフィラメントを動作させて長寿命化を図り、耐電圧を向上させることができるマイクロフォーカスX線発生装置を提供する。【解決手段】 マイクロフォーカスX線管に高電圧を印加する高圧端子の高圧ソケット4の真空側に面する部分に、ガス放出の少ないセラミックシェル10を成形し、その中に各電極(リング電極1、リング電極2、ピン電極3)を配置した状態でエポキシ系樹脂などにより内側形状を成形する。または、前記と同一形状のセラミックシェル10と内側の樹脂部分を、別途製作し、それぞれの間を弾性接着剤等により接合して製作し、フランジ5を固着する。そして、上記各電極から電子発生源8のフィラメント9、グリッドに高電圧を印加する。

請求項（抜粋）：

陰極フィラメントから放出された電子を偏向器で方向を決め、高電圧で加速させ電子レンズで収束させて陽極ターゲットに衝突させ、X線を発生させるマイクロフォーカスX線発生装置において、前記高電圧を電極に印加するために、高圧ソケットの外部の真空側全面に設けられた放出ガスの少ないセラミック製シェルとそのシェルの内側に成形され固着された樹脂製ソケットとを有する高圧ソケット部と、前記樹脂製ソケットに挿入する高圧プラグの挿入部分に成形された樹脂製プラグを有する高圧プラグ部とを備えることを特徴とするマイクロフォーカスX線発生装置。

IPC (3件)：

H01J 35/16 ,  H01J 35/02 ,  H05G 1/00

FI (3件)：

H01J 35/16 ,  H01J 35/02 ,  H05G 1/00 R

Fターム (4件)：

4C092AA01 ,  4C092AB19 ,  4C092AC01 ,  4C092AC08