特許
J-GLOBAL ID:200903005658648869

チタン酸ジルコン酸鉛薄膜の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-007430
公開番号(公開出願番号):特開平6-211522
出願日: 1993年01月20日
公開日(公表日): 1994年08月02日
要約:
【要約】【目的】 基材の形状や材質にさほど制約を受けることなく、大面積のチタン酸ジルコン酸鉛を安価に製造できるようにすること。【構成】 カルボン酸鉛とチタンアルコキシド及びジルコニウムアルコキシドとの液相反応により複合アルコキシドを生成させ、該複合アルコキシドの水溶液を調製した後、その水溶液に基材表面を浸漬して前記複合アルコキシドを加水分解する。要すれば、加水分解前に、複合アルコキシドをエタノールアミンで変成する。
請求項(抜粋):
カルボン酸鉛とチタンアルコキシド及びジルコニウムアルコキシドとの液相反応により複合アルコキシドを生成させ、該複合アルコキシドの水溶液を調製した後、その水溶液に基材表面を浸漬して前記複合アルコキシドを加水分解することを特徴とするチタン酸ジルコン酸鉛薄膜の製造方法。
IPC (2件):
C01G 25/00 ,  H01L 41/24

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