特許

J-GLOBAL ID：200903005666671870

磁性粒子分散型巨大磁気抵抗効果を示す細線からなる位置検出センサー及びその製造方法

発明者： 竹田 英樹 ,  藤田 麻哉 ,  深道 和明
出願人/特許権者： 深道 和明 ,  YKK株式会社
代理人 (1件)： ▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-190283
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037088
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】アクチュエーターを小型化するため、外部に別に回転・位置検出器を用いることなく、マイクロアクチュエーター内部に回転・位置検出器を設置できるような超小型の位置検出センサー及びその効率的な製造方法を提供する。【解決手段】非磁性体と強磁性体よりなる材料から急冷凝固法により直径100μm以下の細線を作製し、これを熱処理して非磁性材料中に強磁性体粒子を分散させ、磁性粒子分散型巨大磁気抵抗効果を示す細線からなるセンサーを製造する。好適な態様においては、得られたセンサーにさらに樹脂を被覆し、その後、縒り合わせる。上記熱処理は、温度200〜600°C、時間5分〜3時間で行なうことが好ましい。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

非磁性体と強磁性体よりなる材料から急冷凝固法により直径100μm以下の細線を作製し、これを熱処理して非磁性材料中に強磁性体粒子を分散させ、磁性粒子分散型巨大磁気抵抗効果を示す細線からなるセンサーを製造することを特徴とする位置検出センサーの製造方法。

IPC (6件)：

G01B7/30 ,  H01F10/16 ,  H01F10/32 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

FI (7件)：

G01B7/30 101B ,  H01F10/16 ,  H01F10/32 ,  H01L43/08 M ,  H01L43/08 Z ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

Fターム (17件)：

2F063AA35 ,  2F063BA30 ,  2F063BD16 ,  2F063CA34 ,  2F063DA05 ,  2F063GA55 ,  2F063GA79 ,  2F063NA07 ,  5E049AA01 ,  5E049AA04 ,  5E049AA07 ,  5E049AA09 ,  5E049AC00 ,  5E049BA16 ,  5E049CB02 ,  5E049DB12 ,  5E049JC01