特許
J-GLOBAL ID：200903005676304824
光学性能評価装置及び光学性能評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-315324
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159574
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 発生する誤差が最小となる変調伝達関数を得ることができる光学性能評価装置を提供する。【解決手段】 投影手段により投影されるスリットパターンの像を、測定光学系を用いてCCD6の受光面上に結像させて、前記CCD6で得られるデータを基に前記測定光学系の変調伝達関数を求めるが、この場合に、フーリエ変換部12は、前記CCD6で得られるデータを空間周波数毎にフーリエ変換する。演算部13は、フーリエ変換部12による処理結果である空間周波数毎の変調伝達関数を空間周波数毎に積算する。平均化処理部14は、空間周波数毎に得られた変調伝達関数を平均化して前記測定光学系の変調伝達関数を求める。このような動作により、前記測定光学系の測定誤差が少ない変調伝達関数を得ることができる。
請求項（抜粋）：
投影手段により投影されるスリットパターンの像を、測定光学系を用いて受光手段の受光面上に結像させて、前記受光手段で得られるデータを基に前記測定光学系の変調伝達関数を求める光学性能評価装置において、前記受光手段で得られるデータを空間周波数毎にフーリエ変換するフーリエ変換手段と、このフーリエ変換手段による処理結果である空間周波数毎の変調伝達関数を空間周波数毎に積算する演算手段と、空間周波数毎に得られた変調伝達関数を平均化して前記測定光学系の変調伝達関数を求める平均化手段と、を有することを特徴とする光学性能評価装置。
引用特許：
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