特許
J-GLOBAL ID：200903005678272717
電界放出電子源およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-226113
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045353
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】簡便なプロセスによりX-Yマトリクス構造を有する高性能の電界放出電子源をローコストで提供すること。【解決手段】多数の微細孔7を有する陽極酸化膜からなる絶縁層6と、この絶縁層6を挟んで対向するそれぞれ複数の帯状のカソード電極2およびゲー卜電極8と、このカソード電極2と電気的に接続された微小電子源10を有する電界放出電子源において、前記カソード電極2と前記ゲート電極8の交差部に位置する前記微細孔7中に選択的に前記微小電子源10が形成されている電界放出電子源。また、前記カソード電極2と同一平面上に第2のゲート電極3が形成され、前記ゲート電極8と前記第2のゲート電極8とが重なり合う領域の前記絶縁層の微細孔7中に接続電極11が形成され、前記接続電極11により前記ゲート電極8と前記第2のゲート電極3が電気的に接続されてもよい。
請求項（抜粋）：
多数の微細孔を有する陽極酸化膜からなる絶縁層と、この絶縁層を挟んで対向するそれぞれ複数の帯状のカソード電極およびゲー卜電極と、このカソード電極と電気的に接続された微小電子源を有する電界放出電子源において、前記カソード電極と前記ゲート電極の交差部に位置する前記微細孔内に選択的に前記微小電子源が形成されていることを特徴とする電界放出電子源。
IPC (3件)：
H01J 29/04
, H01J 1/304
, H01J 9/02
H01J 29/04
, H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
