特許

J-GLOBAL ID：200903005686938015

光学顕微鏡

発明者： 岡本 陽一
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 山村 喜信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087605
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251128
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 試料の外観を観察することができると共に、深度に関する情報が得られ、かつ、比較的安価な光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 受光素子を共焦点に配置し、試料の1方向にのみレーザ光L1を走査して、1つの断面における深さ情報を得る。

請求項（抜粋）：

レーザ光を対物レンズにより試料の表面に集光すると共に、その反射光を受光素子に受光させて、前記反射光の強度に基づいて試料の深度に関する情報を検出する共焦点光学系と、該共焦点光学系における試料に対する集光位置を走査する走査機構とを備えた光学顕微鏡であって、前記共焦点光学系の受光素子に至る光路に光絞り部を配設し、前記走査機構として一次元方向にのみ試料への集光位置を走査する一次元走査機構を備えている光学顕微鏡。

IPC (8件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/26 ,  G02B 21/36 ,  G03B 13/36

FI (8件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/30 C ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/26 ,  G02B 21/36 ,  G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平1-123102
  
• 特開平4-104115
  
• 内視鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-346619   出願人：株式会社東芝
• 特開平1-123102
  
• 特開平4-104115