特許
J-GLOBAL ID：200903005688096534
光電型エンコーダ及びそれを用いた振動ジャイロ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212203
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034376
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【構成】 X軸方向とY軸方向とにそれぞれ平行な線状の透明面26と反射面28とが交互に繰り返してなる縞状格子25が形成されたメインスケール12と、前記メインスケール12に対し二次元方向に相対移動可能に平行配置されたインデックススケール16と、を備え、前記メインスケール12に形成された縞状格子25の中心から外側のピッチに向かうに従って、1ピッチ中の反射面28の占める割合が一定の比率で増加、或いは減少して形成されたことを特徴とする光電型エンコーダ10、及び前記光電型エンコーダを用いた振動ジャイロ。【効果】 メインスケール12にX軸とY軸とにそれぞれ平行な透明面26と反射面28からなり、中心から外側へのピッチにおける反射面28の比率の異なる縞状格子25を設けたので、簡易な構成でしかも広範囲のX,Y方向変位検出を行なうことが可能となる。
請求項（抜粋）：
X軸方向とY軸方向とにそれぞれ平行な線状の透明面と反射面とが交互に繰り返してなる縞状格子が形成されたメインスケールと、前記メインスケールに対し二次元方向に相対移動可能に平行配置され、前記縞状格子へ光を出射する出射スリットと、前記縞状格子を介した光が入射する入射スリットと、を有するインデックススケールと、前記インデックススケールの出射スリット形成位置の裏面に設けられた発光素子と、前記インデックススケールの入射スリット形成位置の裏面に設けられた受光素子と、を備え、前記メインスケールに形成された縞状格子の隣接する透明面と反射面とを合せた1パターンのピッチにおいて、メインスケールの中心のピッチから外側のピッチに向かうに従って、1ピッチ中の反射面の占める割合が一定の比率で増加、或いは減少して形成されたことを特徴とする光電型エンコーダ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01D 5/34
, G01P 9/04
